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对真空煅烧炉进行维修后,要进行烘炉、须对真空煅烧炉进行真空检漏。真空煅烧炉烘炉前,可用1000V摇表检测真空炉的绝缘,正常不小于2MQ。真空炉烘炉分三个阶段:①水分排出期0~ 200°C ,真空煅烧炉保温层中的水分和真空炉体中潮气的排出期,须检查真空炉真空度,同
时保温时间较长。②真空炉体放气量大的温度区-般在500°C左右 ,因真空煅烧炉放气量比较大，这时升温不超过50°C/h。保温时间一般在60分钟以上③保温期1200°C左右,加热每升高100~ 200°C ,要进行保温一段时间,升温过快易损坏保温层、真空炉放气不完全。
在真空系统检漏时,除临时应急维修用真空泥糊堵外,有氦质谱检漏仪可用氦质谱检漏仪进行真空检漏,如没氦质谱检漏仪可用医用针管吸丙酮或Z醚射到所怀疑的漏点处,观察真空表读数有无变化。也可制作留有插真空硅管孔的盲板,分段封堵真空管路,进行检漏。找到漏点以后进行维修( -般密封圈老化比较多) , 定时检查真空炉的滑阀泵、罗茨泵、维持泵、扩散泵油,如发现油遇水乳化,真空下跌,须更换上面4个泵油,应每周检查一次油位和油的质量。扩散泵油油扩散泵有积炭可用化学酸洗的方法清洗。
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